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    1.晶圆制造中单臂Cluster tool的建模与仿真

    潘春荣,伍乃骐

    系统仿真学报[1004-731X], Published 2009, Issue 02, Pages 554-557+562

    收錄情况: CNKI

    2.Modeling and simulation of single-arm cluster tool in wafer fabrication

    Pan, ChunRong, Wu, N     More...

    Xitong Fangzhen Xuebao / Journal of System Simulation[1004-731X], Published 2009, Volume 21, Issue 2,

    收錄情况: SCOPUS

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