1.Cycle time analysis for wafer revisiting process in scheduling of single-arm cluster tools
Sun, YuXi, Wu, NaiQi
International Journal of Automation and Computing[1476-8186], Published 2011, Volume 8, Issue 4, Pages 437-444
收錄情况： SCOPUS
2022影響因子: 4.3
本系統需要使用 Internet Explorer 9.0 以上Firefox || Chrome瀏覽器
Copyright © 2018 澳門科技大學學者庫