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    1.Development of Fault Detection Systems Based on Big Data Ecosystem in Semiconductor Manufacturing: The Hadoop Ecosystem Implementation

    Fu, Hui Chu, Qiao, Y     More...

    IEEE Robotics and Automation Magazine[1070-9932], Published 2023, Volume 30, Issue 2, Pages 22-33

    收錄情况： WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 1  2022影響因子:  5.7 

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