1.CLUSTER TOOL APPARATUS AND A METHOD OF CONTROLLING A CLUSTER TOOL APPARATUS
Naiqi Wu, Fajun Yang More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US15263615 申請日: 2016/9/13
公開(公告)號: US20180076064A1 公開(公告)日期: 2018/3/15
IPC分類號: H01L21/67; B25J9/16; H01L21/677
法律狀態: 授权
同族信息: US20180076064A1; US10643873B2
2.MULTI CLUSTER TOOL SYSTEM AND A METHOD OF CONTROLLING A MULTI TOOL CLUSTER SYSTEM
Naiqi Wu, Fajun Yang More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US15268851 申請日: 2016/9/19
公開(公告)號: US20180081336A1 公開(公告)日期: 2018/3/22
IPC分類號: G05B19/042; G05B19/29
法律狀態: 授权
同族信息: US20180081336A1; US10520914B2
3.CLUSTER TOOL APPARATUS AND A METHOD OF CONTROLLING A CLUSTER TOOL APPARATUS
Yan Qiao, Mengchu Zh More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US15272706 申請日: 2016/9/22
公開(公告)號: US20180082878A1 公開(公告)日期: 2018/3/22
IPC分類號: H01L21/677
法律狀態: 授权
同族信息: US20180082878A1; US10134613B2
4.SYSTEM AND METHOD FOR DETERMINING AN OPTIMIZED SCHEDULE OF A PRODUCTION LINE
Naiqi Wu, Fajun Yang More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14920026 申請日: 2015/10/22
公開(公告)號: US20170115651A1 公開(公告)日期: 2017/4/27
IPC分類號: G05B19/042; G05B15/02
法律狀態: 授权
同族信息: US10101721B2; US20170115651A1
5.SYSTEM FOR CONTROLLING A POWER TRANSMISSION SYSTEM
Zhiwu Li, Zhongyuan More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US15078367 申請日: 2016/3/23
公開(公告)號: US20170279298A1 公開(公告)日期: 2017/9/28
IPC分類號: H02J9/06; G01R31/40
法律狀態: 授权
同族信息: US20170279298A1; US10103569B2
6.Petri Net-Based Optimal One-Wafer Cyclic Scheduling of Treelike Hybrid Multi-Cluster Tools
Naiqi Wu, Fajun Yang More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14919720 申請日: 2015/10/21
公開(公告)號: US20170083009A1 公開(公告)日期: 2017/3/23
IPC分類號: G05B19/418
法律狀態: 授权
同族信息: US10073444B2; US20170083009A1
Naiqi Wu, Qinghua Zh More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14918564 申請日: 2015/10/21
公開(公告)號: US20170083010A1 公開(公告)日期: 2017/3/23
IPC分類號: G05B19/418
法律狀態: 授权
同族信息: US20170083010A1; US10001772B2
8.Optimal One-Wafer Scheduling of Single-Arm Multi-Cluster Tools with Tree-Like Topology
Naiqi Wu, Qinghua Zh More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14918577 申請日: 2015/10/21
公開(公告)號: US20170083008A1 公開(公告)日期: 2017/3/23
IPC分類號: G05B19/418
法律狀態: 授权
同族信息: US10001773B2; US20170083008A1
9.Scheduling Start-up Process for Time-constrained Single-arm Cluster Tools
Naiqi Wu, Yan Qiao, More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14918557 申請日: 2015/10/20
公開(公告)號: US20170080563A1 公開(公告)日期: 2017/3/23
IPC分類號: B25J9/16; H01L21/67; H01L21/677; H01L21/68
法律狀態: 授权
同族信息: US20170080563A1; US9618930B1
10.A MULTI CLUSTER TOOL SYSTEM AND A METHOD OF CONTROLLING A MULTI TOOL CLUSTER SYSTEM
WU Naiqi, YANG Fajun More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2016101672 申請日: 2016/9/19
公開(公告)號: AU2016101672A4 公開(公告)日期: 2016/10/27
IPC分類號: H01L21/67; B25J9/00
法律狀態: 有效
同族信息: AU2016101672A4
11.A CLUSTER TOOL APPARATUS AND A METHOD OF CONTROLLING A CLUSTER TOOL APPARATUS
QIAO Yan, ZHOU Mengc More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2016101706 申請日: 2016/9/22
公開(公告)號: AU2016101706A4 公開(公告)日期: 2016/10/20
IPC分類號: H01L21/02; G05B19/418
法律狀態: 有效
同族信息: AU2016101706A4
12.A CLUSTER TOOL APPARATUS AND A METHOD OF CONTROLLING A CLUSTER TOOL APPARATUS
WU Naiqi, YANG Fajun More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2016101610 申請日: 2016/9/13
公開(公告)號: AU2016101610A4 公開(公告)日期: 2016/10/13
IPC分類號: H01L21/67
法律狀態: 有效
同族信息: AU2016101610A4
13.A SYSTEM FOR CONTROLLING A POWER TRANSMISSION SYSTEM
Li Zhiwu, Jiang Zhon More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: AU2016100316 申請日: 2016/3/23
公開(公告)號: AU2016100316A4 公開(公告)日期: 2016/5/5
IPC分類號: G01R31/00; H02H7/26
法律狀態: 有效
同族信息: AU2016100316A4
14.Optimal buffer space configuration and scheduling for single-arm multi-cluster tools
Liping Bai, Naiqi Wu More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14639137 申請日: 2015/3/5
公開(公告)號: US9227318B1 公開(公告)日期: 2016/1/5
IPC分類號: G06F19/00; B25J9/00; G05B19/418; G06F17/50
法律狀態: 有效
同族信息: US9227318B1; CN105676815A; AU2015100136A4; CN105676815B
Naiqi Wu, Fajun Yang More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14639980 申請日: 2015/3/5
公開(公告)號: US9223307B1 公開(公告)日期: 2015/12/29
IPC分類號: G06F19/00; B25J9/00; G05B19/418; G06F17/50
法律狀態: 有效
同族信息: US9223307B1; AU2015100138A4
16.A SYSTEM AND METHOD FOR DETERMINING AN OPTIMIZED SCHEDULE OF A PRODUCTION LINE
WU Naiqi, YANG Fajun More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: AU2015101569 申請日: 2015/10/22
公開(公告)號: AU2015101569A4 公開(公告)日期: 2015/11/26
IPC分類號: G05B19/418
法律狀態: 有效
同族信息: AU2015101569A4
17.Optimal Buffer Space Configuration and Scheduling for Single-Arm Multi-cluster Tools
BAI Liping, WU Naiqi More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: AU2015100136 申請日: 2015/2/7
公開(公告)號: AU2015100136A4 公開(公告)日期: 2015/3/12
IPC分類號: G05B19/00; H01L21/67; H01L21/677
法律狀態: 有效
同族信息: US9227318B1; CN105676815A; AU2015100136A4; CN105676815B
18.Optimization of Start-up Transient Processes for Dual-Armed Cluster Tools with Wafer Revisiting
WU Naiqi, ZHOU Mengc More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: AU2015100137 申請日: 2015/2/7
公開(公告)號: AU2015100137A4 公開(公告)日期: 2015/3/5
IPC分類號: G06F9/00; H01L21/00
法律狀態: 有效
同族信息: AU2015100137A4; US9333645B1
WU Naiqi, YANG Fajun More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: AU2015100138 申請日: 2015/2/7
公開(公告)號: AU2015100138A4 公開(公告)日期: 2015/3/5
IPC分類號: H01L21/67; H01L21/00; H01L21/302
法律狀態: 有效
同族信息: US9223307B1; AU2015100138A4
20.ONE-WAFER CYCLIC SCHEDULING OF SINGLE-ARM MULTI-CLUSTER TOOLS WITH TWO-SPACE BUFFERING MODULES
WU NaiQi, YANG FaJun More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2014100513 申請日: 2014/5/19
公開(公告)號: AU2014100513A4 公開(公告)日期: 2014/7/10
IPC分類號: H01L21/02
法律狀態: 授权后失效
同族信息: AU2014100513A4
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