1.MULTI CLUSTER TOOL SYSTEM AND A METHOD OF CONTROLLING A MULTI TOOL CLUSTER SYSTEM
Naiqi Wu, Fajun Yang More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US15268851 申請日: 2016/9/19
公開(公告)號: US20180081336A1 公開(公告)日期: 2018/3/22
IPC分類號: G05B19/042; G05B19/29
法律狀態: 授权
同族信息: US20180081336A1; US10520914B2
2.A MULTI CLUSTER TOOL SYSTEM AND A METHOD OF CONTROLLING A MULTI TOOL CLUSTER SYSTEM
WU Naiqi, YANG Fajun More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2016101672 申請日: 2016/9/19
公開(公告)號: AU2016101672A4 公開(公告)日期: 2016/10/27
IPC分類號: H01L21/67; B25J9/00
法律狀態: 有效
同族信息: AU2016101672A4
3.Optimal buffer space configuration and scheduling for single-arm multi-cluster tools
Liping Bai, Naiqi Wu More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US14639137 申請日: 2015/3/5
公開(公告)號: US9227318B1 公開(公告)日期: 2016/1/5
IPC分類號: G06F19/00; B25J9/00; G05B19/418; G06F17/50
法律狀態: 有效
同族信息: US9227318B1; CN105676815A; AU2015100136A4; CN105676815B
4.Optimal Buffer Space Configuration and Scheduling for Single-Arm Multi-cluster Tools
BAI Liping, WU Naiqi More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: AU2015100136 申請日: 2015/2/7
公開(公告)號: AU2015100136A4 公開(公告)日期: 2015/3/12
IPC分類號: G05B19/00; H01L21/67; H01L21/677
法律狀態: 有效
同族信息: US9227318B1; CN105676815A; AU2015100136A4; CN105676815B
WU NaiQi, BAI LiPing More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2014100481 申請日: 2014/5/9
公開(公告)號: AU2014100481A4 公開(公告)日期: 2014/6/26
IPC分類號: G06F17/00
法律狀態: 授权后失效
同族信息: AU2014100481A4
WU NaiQi, ZHOU MengC More...
專利權人: MACAU UNIVERSITY OF More...
申請號: AU2014100521 申請日: 2014/5/20
公開(公告)號: AU2014100521A4 公開(公告)日期: 2014/6/19
IPC分類號: G06Q99/00; C10G99/00
法律狀態: 授权后失效
同族信息: AU2014100521A4
7.Optimal Buffer Space Configuration and Scheduling for Single-Arm Multi-cluster Tools
Liping Bai, Naiqi More...
專利權人: Macau University of More...
申請號: US62102108 申請日: 2015/1/12
公開(公告)號: US62102108P0
法律狀態: 失效
同族信息: US62102108P0
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