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    1.半导体制造中多组合设备的Petri网建模及死锁分析

    朱清华,伍乃骐,滕少华

    东南大学学报(自然科学版)[1001-0505], Published 2010, Issue S2, Pages 267-271

    收錄情况: CNKI

    2.Petri net modeling and deadlock analysis of multicluster tools in semiconductor manufacturing

    Zhu, Qinghua, Wu, Na     More...

    Dongnan Daxue Xuebao (Ziran Kexue Ban)/Journal of Southeast University (Natural Science Edition)[1001-0505], Published 2010, Volume 40, Issue SUPPL. 2, Pages 267-271

    收錄情况: SCOPUS

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