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    1.Efficient Approach to Cyclic Scheduling of Single-Arm Cluster Tools With Chamber Cleaning Operations and Wafer Residency Time Constraint

    Yang, FJ, Wu, NQ, Ga     More...

    IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING[0894-6507], Published 2018, Volume 31, Issue 2, Pages 196-205

    收錄情况： WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 17  2023影響因子:  2.3  发表年影響因子:  1.140 

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