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    1.Petri Net-Based Deadlock Avoidance for Single-arm Cluster Tools with Concurrently Processing Two-type Wafers

    Lu, YJ, Pan, CR, Qia     More...

    2018 IEEE 15TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NETWORKING, SENSING AND CONTROL (ICNSC)[1810-7869], Published 2018, Pages 1-6

    收錄情况： WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 1 

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