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    1.Cycle time analysis of dual-arm cluster tools for wafer fabrication processes with multiple wafer revisiting times

    Qiao, Y, Wu, NQ, Zhu     More...

    COMPUTERS & OPERATIONS RESEARCH[0305-0548], Published 2015, Volume 53, Pages 252-260

    收錄情况： WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 29  2023影響因子:  4.1  发表年影響因子:  1.988 

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