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    1.Scheduling and Control of Startup Process for Single-Arm Cluster Tools With Residency Time Constraints

    Qiao, Y, Zhou, MC, W     More...

    IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY[1063-6536], Published 2017, Volume 25, Issue 4, Pages 1243-1256

    收錄情况: WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 55  2023影響因子:  4.9  发表年影響因子:  4.883 

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