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    1.Dual-Arm Cluster Tool Scheduling for Reentrant Wafer Flows

    Song, Tairan, Qiao,     More...

    Electronics (Switzerland)[2079-9292], Published 2023, Volume 12, Issue 11,

    收錄情况: WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用:  2023影響因子:  2.6  发表年影響因子:  2.6 

    2.A New Framework of the EAP System in Semiconductor Manufacturing Internet of Things

    Song, TR, Qiao, Y, H     More...

    ELECTRONICS[2079-9292], Published 2023, Volume 12, Issue 18,

    收錄情况: WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用:  2023影響因子:  2.6  发表年影響因子:  2.6 

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