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    1.Robot Waiting Time Analysis and Its Impact on Wafer Delay Time of Single-Arm Cluster Tools

    Xiong, WQ, Qiao, Y,     More...

    IFAC PAPERSONLINE[2405-8963], Published 2020, Volume 53, Issue 4, Pages 384-389

    收錄情况： WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 1 

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