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    1.An Efficient Binary Integer Programming Model for Residency Time-Constrained Cluster Tools With Chamber Cleaning Requirements

    Qiao, Y, Lu, YN, Li,     More...

    IEEE TRANSACTIONS ON AUTOMATION SCIENCE AND ENGINEERING[1545-5955], Published 2021, Volume 19, Issue 3, Pages 1757-1771

    收錄情况: WOS SCOPUS

    WOS核心合集引用: 11  2022影響因子:  5.6  发表年影響因子:  6.636 

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